真空检漏设备哪家好

干式真空泵

深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳，在北京、浙江设有******。是一家专门从事各种真空应用设备制造，集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品：真空设备，检漏仪，微水仪，lng抽真空系统，非标真空设备，真空标准件以及真空设备的维护***。

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干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有ji溶剂造成污染，适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

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干式真空泵

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1)真空度:干式螺杆真空泵、爪式真空泵、无油涡旋真空泵极限真空度都很高，gao极限真空均可达到1-2Pa;无油往复真空泵为粗真空设备，极限真空度低，需要搭配罗茨真空泵提限真空。

2) 抽气量:无油涡旋真空泵由于内部结构问题，抽气量较小，只适用于小抽气量的工艺中;干式螺杆真空泵型号齐全，可适用大抽气量工艺中，配合罗茨真空泵可以满足不同客户的需求。

3)稳定性:干式螺杆真空泵性能稳定，噪音低，故障率低;无油往复真空泵结构简单，噪音较高，需要经常更换滑片。爪式真空泵由于装配复杂，转子与轴不为一体，出现故障需全部重新拆解装配，反复装配从而降低产品性能及稳定性。

4)特殊处理:由于化工、制药等相关工艺气中会不同程度含有、以及腐蚀性气体，所以干式真空泵需要特殊处理。干式螺杆真空泵内部结构简单，两根转子、泵腔均可做防腐处理，可选用镍磷涂层和特氟龙两种涂层。爪式真空泵很难做防腐处理，各级隔板之间几乎无法做表面处理，转子表面的防腐涂层也容易在装配时损伤。无油涡旋真空泵只适合抽洁净的气体，不能抽取、及具有腐蚀性的气体。

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旋片真空泵

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故障分类建议把故障分为运转故障和性能故障。

运转故障可包括泵不转，泵温太高，漏油，漏水，等。

性能故障可包括极限压力、极限全压力、抽气效率、噪声、喷油，气镇性能等不达标或不能满足要求。折叠编辑本段故障判断与诊断例举1、泵不转。情况不明不能先开泵，以免加重故障。用手能盘动和不能盘动。

A、泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障;皮带打滑;电机接线有误;电机损坏;电源没电等。

B、不能盘动或盘起来很重的，原因可以是因为起动泵温太低，泵油粘度太高;设计制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中);有***在泵内(进气管中的焊渣、氧化物;旋片弹簧等泵零件的碎屑);旋片变形卡住;发生了咬合(铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承)。

2、泵温太高。指低级排气阀附近测得的gao油温超过使用说明书规定值。由于泵温升高会使泵油粘度大幅下降，并使用权泵油的饱和蒸汽压升高，使泵的极限压力升高和抽气效率下降;使橡胶件容易老化;热膨胀使运转的可靠性。泵温太高的原因可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入中压力太高;水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳;温控水量调节阀失效等。

3、漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处，气镇阀(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。

自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。

4、漏水。可以发生在水管头，水套闷盖平面，放水孔螺塞，放水阀等处，水套钻穿，铸件缺陷，冻裂，也可能导致漏水。

5、da功率超标。可由长期连续工作入口压力太高、排气压力太高、杂物进入发生咬合、泵温太高、旋片等配合间隙太小、电压太高、泵液返入泵内太多等引起，会使电机损坏。应尽量避免在da功率附近长期连续运转。如果表面有沉积物，要定期拆开清除。

6、极限压力不过标。可由外漏、内漏、油孔堵塞、泵油质量不良或污染变质、有水汽等到可凝性物质、仪器仪表失真、泵运转不正常等引起。

外漏较多时、排气口可看白色蒸q。油标处有较多气泡，真空检漏设备哪家好，手在排气口上感到排气压力。低级排气阀处油面有较多气泡。功率会有所增加。这时，首先应检查气镇阀是否已关好。由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力，所以如有外漏现象，应对泵口及管道、阀门、容器逐一检查。外轴封失效、油杯无油、油孔闷头漏气也可造成外漏。内漏可由泵内的运动间隙、排气阀等平面、排气阀的密封面、内轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀密封件等引起磨损、腐蚀、咬合会使运转间隙加大。油孔阻塞时，打开加油孔听，泵的噪声会较轻，在油箱密封良好的情况下，如果手在排气口上有被吸的感觉，排气阀可能失效。

如果泵油清洁，长期存放未用，可开气镇阀净化泵内水汽。若无效，要检查仪表。若泵油发黄发白已乳化，可全开气镇，调大气镇量净化运转，必要时可在泵口放入适量气体运转，可加快净化过程。若抽入其他挥发性气体或液体，要及时换油，必要时请洗油箱。有些泵，在级间气道里会沉积泵液，为取得好的换油效果，要设法把沉积泵液排出。

极限压力是用座式压缩式shui银真空计测量的。用经校准的热偶真空计等全压力计测量时，测得值会增加。注意热偶真空计的规管要配对校准。建议备用一只同时校准的规管，以备怀疑规管污染失真时进行对比。

极限压力升高会使高真空时段的抽气效率下降，也会使极限全压力升高。可以参照上述介绍来判断、检查、处理抽气效率下降和极限全压力升高的故障。

7、噪声。泵的结构设计，电机与泵轴承的噪声，旋片等运动件是否滑畅、进油量太多、风扇、传动件产生的噪声、进气量大，开气镇运转、挡油板等泵内零件松动，安装不平等引起振动，都会影响泵的噪声。

8、喷油。防止喷油用的油盒回油孔的大小、位置、密封状况，挡油板的设计、安装，排气口部分的减雾器、挡油帽、油气分离器，油位的高低，进油量的大小，都会影响泵的喷油，泵口敞开油大气时，直联泵排气口的气流速度可以高达30M/S，吹开油面时，泵内的循环油和气流带出的油就将考验防止喷油的各项措施。

9、其他，有些泵有油泵，有油分离器，有油路上的单向阀，有消雾器，有入口过滤器(防油蒸汽返流用)，有入口灰尘过滤器等部件或附件，也要进行检查。油泵失效将使泵的润滑和密封失效，消雾器失效，有可能使排气压力升高，功率加大，损坏电机，入口过滤失效可使进气阻力增大，抽速下降，抽气效率下降。

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