氦检设备生产厂家-锐诚真空

如何选择真空检漏仪

一．对检漏方法的一般要求

1.检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；

2.反应时间短，可以提高工作效率；

3.能***、定量，即不经能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；

4.能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；

5.稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度稳定可靠；

6.所用“示踪气体”在空气中含量低，***，不腐蚀零件；

7.检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测到，以减少检漏设备的数量和费用；

8.检漏时洁净无油，满足一些特殊的要求

二．选择真空检漏仪检漏方法的原则

1.主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合，为找到一个单个漏孔，所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1-2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11w，而必须选用的检漏仪灵敏度为10-12∽10-13W；

2.根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。

氦检漏设备的工艺流程

A1:安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测;

B1:若A1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止;

B2:若A1检测通过，放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式，微漏检测;

C1:若B2检测不通过，则系统报警-----循环检，小漏工件序号显示------检测程序中止;

C2:若B2检测通过，真空箱内充入大气，同时工件内氦气回收-------真空箱开门，检测完成。

氦质谱检漏仪的不同测量方法满足多种需求

氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口，性能稳定可靠。秀长的体积，优越的性能，适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理，采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术，实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换，具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。

氦质谱检漏仪特点：

1.检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内；

2.检测的介质比较常用，氦检设备生产厂家，仅需压缩空气即可；

3.多种大漏保护模式，充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击；

4.大漏检测功能：可通过预设压力，抽空时，达不到预设值，检漏仪自动报警提示。

5.多种计量单位选择，检测数据实时更新，直接输出生成Excel表格。

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