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发布时间:2020-08-31 02:22:03
真空泵
深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳,在北京、浙江设有******。是一家专门从事各种真空应用设备制造,集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品:真空设备,检漏仪,微水仪,lng抽真空系统,非标真空设备,真空标准件以及真空设备的维护***。
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罗茨泵从国外罗茨泵生产情况来看,国外几家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、和ULVAC,他们各家罗茨泵的销售额占***罗茨泵销售额的比例都没超过5%,这5家总计才20%,罗茨泵产量不大,但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统,为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵,所以国产罗茨泵一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场另外,真空箱检漏设备报价,还要考虑到有些***和地区的电源频率为60Hz,更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性。国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快,技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器,其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子,从而使压缩热得到平衡,所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求,这种泵可以串联使用,一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵,所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,所以应该在国内大力推广和应用。
分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
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检漏仪原理图中14 检漏口的位置通常可以连接在图1 中虚线A 或B 的位置,因为这两处均能达到检漏仪检漏口小于1000 帕 的工作要求,对于粗检两个位置都能够达到要求,但对于系统的小漏,位置的选择则相当关键,对于核级锆铸锭的生产来说,当漏率介于0.65~1.5帕/min 时更要注意位置的选择。主要原因是由于:该型号的检漏仪分为检测大漏、中漏和微漏,当检漏口14的压强100 帕lt;Palt;1000 Pa 时检漏仪V1 和V2打开,氦气部分分子沿分子泵排气口逆流进入质谱室,因此只有当氦气分子较多时才能被检测到;当压强10 帕lt;Palt;100 Pa 时,检漏仪关闭V2,打开V3,V1 阀,此时氦气分子较多沿4 处分子泵进气口1 逆流进入质谱室中,可以检测到系统的中漏;当Pa lt;10帕 时,检漏仪关闭V3,打来V4、V1 阀,此时氦气分子大部分沿15 处分子泵进气口2 逆流进入质谱室中,达到检测微漏的效果。
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直联旋片真空泵
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真空泵是一个量大面广的产品,产量很大,产值不高,但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。
目前,***真空泵市场的年销售额约20亿美元,年增长率在7%左右。
我国生产真空泵的厂家很多,全部真空泵的年销售额大约在1.5亿元左右,仅相当于美国一家公司真空泵的年销售额。通过对***真空泵市场的分析我们可以看出,各类真空泵的市场及应用领域都在不断变化和发展。我国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础,国产真空泵已经在各个不同领域得到应用并经过验证,有些泵还出口国外,得到国外用户的认可并受到好评,应该说我国真空泵制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间。
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