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真空设备检漏

深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳，在北京、浙江设有******。是一家专门从事各种真空应用设备制造，集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品：真空设备，检漏仪，微水仪，lng抽真空系统，非标真空设备，真空标准件以及真空设备的维护***。

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氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪，是只检测氦的专用质谱仪，这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。

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真空泵

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利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种：（1） 往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。

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旋片真空泵

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基本参数抽气速率： 0.15~30L/S (升/秒)极限压强： ≤6*10-2Pa (帕)极限真空： ≤1.3Pa (帕)气体类型： 常温无其它混合物的清洁干燥空气，不许有含其它粉尘及水分的空气。工作要求： 进口压强在大于6500Pa时连续工作时间，不得超过3分钟以免喷油引起泵损。工作要求： 进口压强在小于1330pa的条件下，允许长时期连续工作。环境温度： 真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。

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